2026年9月11日，IICIE国际集成电路创新博览会在深圳国际会展中心圆满落幕。本次展会汇聚芯片设计、晶圆制造、封装测试、核心装备、关键材料及核心零部件等全产业链优质资源，集中展示集成电路产业前沿技术与创新成果。展会期间，作为国内干式真空泵领域的领军企业，中科仪携全系主力产品重磅亮相，吸引了来自半导体设备、关键材料供应等领域的行业客户与合作伙伴纷纷驻足。

　　中科仪干式真空泵产品覆盖清洁工艺、中等工艺、苛刻工艺三大应用场景，是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用的干式真空泵制造企业，也是唯一在上述三大工艺领域均实现批量应用的国产企业。中科仪业已成为集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，产品累计装机数量超过5万台。

　　未来，中科仪将进一步加大研发投入，不断推进产品迭代与技术革新，持续深化产业链上下游协同联合，拓展多元合作维度，促进产业发展合力，依托稳定可靠的运行性能、优异的能耗控制能力、智能化运行体系等核心优势，有效助力半导体企业提质增效、降本降耗，为集成电路全流程生产场景提供坚实可靠的装备支撑。