在武汉东湖新技术开发区,一座面向未来的高规格化合物半导体孵化加速及制造基地正加速崛起。
这是由协多利洁净系统股份有限公司交付的又一标志性工程,它不仅是光谷化合物半导体产业创新街区的核心量产载体,更是华中第三代半导体产业链自主化的重要里程碑。
项目背景
该基地总建筑面积约13–15万平方米,总投资约10–12亿元,是光谷重点打造的第三代半导体先进制造平台。项目可稳定搭载:
8 英寸 MEMS 先进产线
12 英寸硅基氮化镓产线
构建从研发、中试到量产的完整闭环,为外延片、衬底片的精密研发与规模化生产提供坚实载体。
项目建成后,将成为全国化合物半导体产业的重要孵化与制造基地,助力武汉打造“中国芯”的创新高地,推动光谷千亿级产业集群加速形成。
技术挑战
化合物晶圆制造对洁净系统提出极高要求:
结构承重要求极高(重载设备密集布设)
洁净等级跨多场景复合
安装精度要求极高
长周期连续运行稳定性要求严苛
施工精度与材料体系必须长期可靠
这些要求对洁净室系统的定制设计、结构强度、施工精度及运维能力带来极大考验。
协多利的系统级解决方案
协多利以行业领先的洁净技术体系,为项目打造行业领先的洁净围护系统:
定制化结构体系
满足高强度承重需求、半导体产业链多样化生产需求
多等级洁净环境构建
精准实现万级、千级、百级复合洁净场景
材料体系全面升级
解决耐腐蚀、耐消毒、耐清洗等长期使用痛点
复杂节点工艺攻关
设备穿墙密封、防泄漏等长期稳定控制
全流程质量与验证体系
设计、施工、安装一体化,满足国际级完整性要求
协多利实力
作为国内领先的洁净系统整体解决方案提供商,协多利深耕洁净领域 26 年,掌握核心技术、拥有 180+ 专利,服务全球 10000+ 客户,在半导体、生物医药、电子制造、新能源等高端制造领域树立百余个标杆工程。
武汉化合物半导体基地的落地,再次证明协多利在高等级洁净工程领域的系统能力与行业领导力。
协多利实力,洁净筑未来
协多利洁净系统股份有限公司将继续以系统化、标准化、国际化的工程能力,为中国半导体产业的自主可控与全球竞争力提供坚实支撑。
洁净筑未来,协多利在路上!